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直線導入、回転導入など様々な要求に対応！各種シャッター機構のご紹介
日本シード研究所が取り扱う『各種シャッター機構』をご紹介します。 本機構は、成膜装置におけるカソードや基板をはじめ、ビューポートや 膜厚センサーなど広く利用されているシャッターです。 当社では、直線導入、回転導入など様々な要求に対応致します。 【使用例】 ■覗き窓シャッター M97-0072 ■基板シャッター N14-0040 ■基板シャッター N20-0010 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
外筒はコンパクトでバランスがよく、高速運動や高速回転運動時にも十分性能を発揮します！
「NBボールスプライン」はボールの転がり運動を利用した 直線運動機構です。 ラジアル荷重とトルクを同時に負荷できることから、搬送装置や ロボットなど幅広い分野で使用されます。 軌道溝を持ったスプライン軸と外筒で構成。スプライン外筒内部には 保持器、サイドリング、鋼球が組込まれており、滑らかに摺動できるように 設計・製作されています。 【構造と特長】 ■負荷容量が大きく長寿命 ■豊富なバリエーション ■耐食仕様 ■追加加工が容易 ■高速運動・高速回転が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
簡易型XY機構 SXYシリーズ
トランスファーロッドの位置調整用に最適な チルト調整機構を組み合わせた、簡易型XY機構 【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ70CF〜φ203CFまで対応可能 ○4本のロッドを調整することにより、チルト調整が可能 ○トランスファーロッド、回転導入機 直線導入機等と組み合わせることにより 真空内への多軸運動伝達が経済的に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
精密な位置決めができる！中空構造の直線導入機
『KUD-152 Mk-II』は、本体内部に電解研磨処理を施し、超高真空領域まで 使用可能な直線導入機です。 有効内径φ108mmを設けることが可能となる為、内部のスペースを 有効に使用できます。 φ125ｍｍのハンドルを設け、ギヤにて回転トルクを落とすことで、 上下操作を軽く行うことができます。 他の回転導入機などと組み合わせる事で、搬送ラインの調整を 行うことも可能です。 【特長】 ■側面のメモリスケールを使用し0.1ｍｍでの位置決めが可能 ■モーター駆動ユニット追加で更に精密な位置決めが可能 ■駆動方式ベローズタイプで、200℃までのベーキングが行える ■背板にリブを設けフランジ間のたわみを軽減 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
本体を回転させてフランジ間の距離を正確に調整が可能！ベローズ式直線導入機
『KUDシリーズ』は、手動駆動型とモーター駆動型の2種類がある 中空構造の直線導入機でです。 容器の内部には電解研磨処理を施し、超高真空領域まで使用可能。 試料ホルダーや電極・熱電対等を超高真空領域内に挿入して直進運動を 行うことが出来るほか、側面に目盛りスケールを設置している為、 精度を要する移動や微調整などに使用出来ます。 【特長】 ■最大移動量は50mmと100mmの2種類から選択可能 ■側面に目盛りスケールを設置し、精度を要する移動や微調整などに使用可能 ■最大移動量は50mm、100mm、150mm、200mm、250mm、300mmの6種類 ■移動量が300mmを超える場合に限り、他の移動量の物と形状が異なる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
